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扫描电子显微镜（SEM）知识汇总
第一块 基本原理
扫描电子显微镜（SEM）是一种通过用聚焦电子束扫描样品的表面来产生样品表面图像的显微镜成像技术。
电子与样品中的原子相互作用，产生包含关于样品的表面测绘学形貌和组成的信息的各种信号。电子束通常以光栅扫描图案扫描，并且光束的位置与检测到的信号组合以产生图像。扫描电子显微镜可以实现分辨率优于1纳米。样品可以在高真空，低真空，湿条件以及宽范围的低温或高温下观察到。
扫描电子显微镜最基本的应用，是对各种固体样品表面进行高分辨形貌观察，因此可应用于化学、生物学、植物学等多个领域。另外，在半导体器件和集成电路领域，利用扫描电子显微镜可以很详细地检查器件工作时局部表面电压变化的实际情况，这是因为这种变化会带来象的反差的变化。可知，扫描电子显微镜的应用十分广泛。
【3】扫描电子显微镜（SEM）—从基础出发、一切尽在掌握之中
【10】电镜学堂丨扫描电子显微镜的基本原理(三) – 荷电效应
第二块 仪器结构
扫描电子显微镜由三大部分组成：真空系统，电子束系统以及成像系统。
（1） 真空系统
真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器，真空泵用来在真空柱内产生真空。成像系统和电子束系统均内置在真空柱中。
（2） 电子束系统
电子束系统由电子枪和电磁透镜两部分组成，主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像。
（3） 成像系统
电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生次级电子、背散射电子、俄歇电子以及X射线等一系列信号，然后通过不同的检测器来区分这些信号以获取所需要的信息。
【1】电镜学堂丨扫描电子显微镜的结构(一) – 电子光学系统
第三块 样品制备
【7】电镜学堂丨扫描电子显微镜样品要求及制备 (一) – 常规样品制备
【8】电镜学堂丨扫描电子显微镜样品要求及制备 (二) – 特殊试样处理&试样放置
第四块 仪器观测
第五块 与其他显微镜的比较
【2】透射电镜和扫描电镜在结构、工作原理、样品制备等方面的异同
【5】扫描电镜(SEM)与透射电镜(TEM)结构、工作原理区别及测试中的一些常见问题
第六块 仪器应用
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