XPS分析软件Casaxps作图说明

1不同格式数据之间的转换

 

(1)将非filename.vms格式数据转换成filename.vms格式数据

 

Casaxps处理filename.vms格式的数据,我们的仪器可以直接给filename.vms格式的数据,但一般情况下给出的是filename,不加任何后缀的文件,这种文件可以用记事本,excel,origin等打开,但是不能用Casaxps打开,但是可以转换成可以用casaxps打开的文件,转换方式如下:

 

将我们给出的原始数据用excel打开,将binding energy和intensity(CPS) 两列数据取出放在一个新建的txt文档下,删掉一些没用的东西,确保数据格 式符合X-Y两列。将修改好的txt文档改为dat文档(直接修改后缀),然后将 dat文件放在一个只有dat文件的专门文件夹里,这个很重要,如果这个文 件夹里有其它格式的文件,那么就无法完成数据的转换。打开casaxps软件, 点convert按钮,在专门存放dat数据的文件夹下找到需要转换的文件,打开 就完成了转换。记住,一旦打开就会在该文件夹下生成一个filename.vms格 式的文件,这样会导致其它文件无法转换,将这个新生成的文件转移到其它 文件夹下就可以了,这样新生成的filename.vms文件就可以直接在 Casaxps里面打开了。

 

(2)将filename.vms格式数据转换成txt格式数据

 

在Casaxps里面将filename.vms格式的文件打开, 点击 save Tab Ascll to clipbard 按钮 , 出现如下界面, 点击copy all to clipboard键, 将clipboard section 界面关闭后, 将复制的数据粘贴到txt文档即可。

 

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Casaxps软件处理filename.vms格式的文件

 

1.用casaxps处理宽谱 能够得到的信息:

 

(1)定性分析:归属宽谱中各个峰。图1为经过峰归属后所得到得xps谱图。

 

峰归属步骤

 

打开vms格式文件,点击Options →Elements,出现Element library窗口,点击Periodic table,出现一张元素周期表,点击find peak,宽谱上各个峰就被归属了。但是,这时候归属的峰多,不容易分辨,可以做一些修饰。点击 Options →Annotation,出现Annotation窗口,点击peak labels,会出现很多峰相对应的信息如O1s、C1s等等,点击其中一个,点Apply,峰就被标记出来,这样标记完所有重要而又明显的峰后,再次点击Options →Elements→Periodic table→Clear all elements, 峰归属与标记就完成了。然后点击Options → Tile display,出现Tile display parameter窗口,点Display,该窗口的最下面有Title,在空白框里输入想命名的英文文件名,如GaN1 wide。

 

(2)元素含量分析

 

含量分析步骤

 

在峰归属基础上,点击 Options →Elements→Periodic table→Find peaks, 宽谱上可能有的元素在周期表上为红色,选择想要计算元素含量的元素,点 击Creat Region ,就计算出了各个元素的含量,然后点击Clear all elements。

 

另一种计算含量的方法: 正确识别各峰后,可以按照处理窄谱的方法处理宽普:点击工作区使其处于激活状态, 点击quantify 按钮,出现下面界面,点regions,再点creat,

 

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点creat出现下面界面后,如图中红箭头所指位置处,左右移动边界,选定要计算含量的区域,得到如下图:按照此方法将其与需要计算含量的元素的区域画出来

 

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在Annotation窗口下,点Quantification, 选上如图的选项,点Apply就会得到含量报告。

 

元素含量和峰重合,看不清,怎样将它们分开呢?

 

方法1:如下所示快捷键,任意点击一个按钮可以将谱图移动,按自己的需要来点击这两个按钮,直至达到要求为止。

 

方法2:如下图,在annotation窗口下,点击annotation history,将其激活,会出现左图,有红色方框的说明能够移动,点住name上的红色方框,向右移动即可。

 

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一些常用的快捷键

 

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这些快捷键相关的操作在option下均可以找到。

 

2用casaxps处理精细谱

 

具体操作步骤:扣背底 –分峰、拟合–含量计算

 

打开vms格式的窄谱文件,点击工作区使其处于激活状态,点击quantify 按钮,出现下面界面,点regions,再点creat,

 

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点creat出现下面界面后,如图中红箭头所指位置处,左右移动边界,选定要分峰的区域, 即扣背底

 

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扣背底后出现下面界面

 

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点component,在component状态下点击creat,根据谱图特点点击creat分出一个峰后先 拟合一下,再点击creat分第二个峰,拟合

 

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在component状态下点击creat,直至分出所有峰,点击 Fit component,出现以下界面。

 

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点annotation 按钮,激活component,点apply,出现以下界面。完成分峰、拟合、 含量计算。

 

荷电校正

 

由于在测试过程中会发生结合能的偏移,完成分峰拟合含量计算之后就要进行荷电校正,我们的仪器一吸附碳的结合能284.6eV作为标准,进行校正,步骤如下:

 

点击processing按钮,出现 如下窗口, 点击calibration, 在measured后面的空格中 输入吸附碳测量值, 在true后面的空格中输入 标准值284.6, 将有图红色框中的两个 选项打钩, 点apply即可

 

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下面的结果就是经过校正后的最终结果

 

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3将拟合好的数据保存为.TXT格式

 

点击 save Tab Ascll to clipbard按钮 ,出现如下界面,点击copy all to clipboard键,将clipboard section 界面关闭后,将复制的数据粘贴到txt文档即可。

 

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如果该步操作无法进行,可能是没有输入该软件的用户名和序列码,点击help下拉菜单about Casaxps,输入正确的用户名和序列号(用户名和序列号保存在SN.txt文本文档中),其它的操作如上。

 

将从casaxps转换出的数据导入到origin后的谱图

 

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导入到origin后可以像处理其它数据 一样,去掉第一列(动能列),修改 一下坐标,作图,标注峰名称,就得 到可以应用的最终结果。

 

导入到origin后可以像处理其它数据 一样,去掉第一列(动能列),修改 一下坐标,作图,标注峰名称,就得到可以应用的最终结果。

本文转自小木虫作者zuihaitang,链接:http://muchong.com/t-7977232-1。

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